한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

$NH_3$ 분위기에서의 RTA에 의한 TiN/$TiSi_2$ 경합반응에 관한 고찰

A Study on Competive Reactiion of TiN/$TiSi_2$ by RTA in $NH_3$ ambient

  • 발행 : 1992.05.01
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