한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

산화전 분위기가 Gate Oxide 특성에 미치는 영향

Effects of Pre-Oxidation Ambient on the Characteristics of Thin Gate Oxide

  • 주문식 (현대전자 산업 주식 회사, 반도체 연구소) ;
  • 엄금용 (현대전자 산업 주식 회사, 반도체 연구소) ;
  • 박미라 (현대전자 산업 주식 회사, 반도체 연구소) ;
  • 박헌섭 (현대전자 산업 주식 회사, 반도체 연구소)
  • 발행 : 1992.05.01
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