한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Micro-trench stacked (MTS) capacitor의 특성

Characteristics of the Micro-Trench Stack Capacitor

  • 김성태 (삼성전자㈜반도체연구소) ;
  • 고재홍 (삼성전자㈜반도체연구소) ;
  • 김경훈 (삼성전자㈜반도체연구소) ;
  • 강성훈 (삼성전자㈜반도체연구소) ;
  • 이문용 (삼성전자㈜반도체연구소) ;
  • 이종길 (삼성전자㈜반도체연구소)
  • 발행 : 1992.05.01
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