분광식 일립소메타를 이용한 GaAs/Al(x)Ga(1-x)As/GaAs이종구조의 비파괴적인 측정

Nondestructive Characterization of GaAs/$Al_{x}Ga_{1-x}$As/GaAs HMESFET Heterostructures by Spectroscopic Ellipsometry

  • 최광수 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 이문희 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 배규식 (수원대학교 전자재료공학과)
  • 발행 : 1992.05.01