Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

The Physical and Electrical Properties of SIROX Method for Sub-halfmicron Isolation

Sub-halfmicron 급 소자분리를 위한 SIROX Isolation의 물리적, 전기적 특성 고찰

  • 반천수 (삼성전자(주)반도체부문) ;
  • 김윤기 (삼성전자(주)반도체부문) ;
  • 김용배 (삼성전자(주)반도체부문) ;
  • 김병렬 (삼성전자(주)반도체부문) ;
  • 이문용 (삼성전자(주)반도체부문) ;
  • 이종길 (삼성전자(주)반도체부문)
  • Published : 1992.05.01
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Abstract

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