한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

TiSi2 박막의 Agglomration 거동에 미치는 Si기판 의존성

The Effect of Si Substrate on the Agglomeration Behavior or TiSi2 Thin Film

  • 김일권 (삼성전자 반도체 연구소) ;
  • 고종우 (삼성전자 반도체 연구소) ;
  • 이내인 (삼성전자 반도체 연구소) ;
  • 김영욱 (삼성전자 반도체 연구소) ;
  • 이문용 (삼성전자 반도체 연구소) ;
  • 이종길 (삼성전자 반도체 연구소)
  • 발행 : 1992.05.01
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