Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Effects of Hydrogenation on the Poly-Si TFTs

다결정 실리콘 TFT에 대한 수소화 처리의 영향

  • 하형찬 (현대전자 반도체 연구소) ;
  • 이상규 (현대전자 반도체 연구소) ;
  • 박홍탁 (현대전자 반도체 연구소) ;
  • 고철기 (현대전자 반도체 연구소)
  • Published : 1992.05.01
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Abstract

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