Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1992.05b
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Pages.61-62
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1992

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

A study on the prevention of Ti-silicide agglomeration using Ta layer

Ta층을 사용한 Ti-silicide의 응집화 방지에 관한 연구

강성건 (한양대학교 재료공학과) ;
최진석 (한양대학교 재료공학과) ;
황유상 (한양대학교 재료공학과) ;
배수현 (한양대학교 재료공학과) ;
정재경 (삼성반도체) ;
조현춘 (산업기술정보원)

Published : 1992.05.01

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Abstract

Keywords