한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 1992년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.30-33
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- 1992
집속 이온빔 마이크로리소그라피를 위한 비정질 $Se_{75}Ge_{25}$ 무기질 레지스터의 이온 유기 변화
Ion-Induced Changes in a $Se_{75}Ge_{25}$ Inoaganic Resist for Focused Ion Beam Microlithgraphy
초록
This thesis was investigated on ion-induced characteristics in a-
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