Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

TiN 박막제조를 위한 ppECVD 공정의 해석적 연구

  • 안경한 (연세대학교 공과대학 화학공학과) ;
  • 설용건 (연세대학교 공과대학 화학공학과) ;
  • 김선효 (포항공과대학 재료금속공학과)
  • Published : 1992.07.01
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