한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

PECVD로 증착된 Silicon Nitride 박막의 특성연구

  • 이중환 (한국전자통신연구소) ;
  • 권오준 (한국전자통신연구소) ;
  • 전무식 (한국과학기술원 화학과) ;
  • 유룡 (한국과학기술원 화학과)
  • 발행 : 1992.07.01
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