다층박막확산쌍에서의 고상반응에 의한 비정질상 및 결정상 생성에 관한 이론적 고찰

Theoretical Consideration of Amorpphization by Solid State Reaction and Crystalline pphase Formation in Multilayer Thin Film Diffusion Coupple

  • 발행 : 1992.07.01