TiN 위에 텅스텐의 저압화학증착

  • 이시우 (포항공과대학 화학공학과 재료공정연구실) ;
  • 이청 (포항공과대학 화학공학과 재료공정연구실) ;
  • 이건홍 (포항공과대학 화학공학과 재료공정연구실) ;
  • 박상규 (포항공과대학 화학공학과 재료공정연구실)
  • 발행 : 1992.02.01