Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

TiN 위에 텅스텐의 저압화학증착

  • 이시우 (포항공과대학 화학공학과 재료공정연구실) ;
  • 이청 (포항공과대학 화학공학과 재료공정연구실) ;
  • 이건홍 (포항공과대학 화학공학과 재료공정연구실) ;
  • 박상규 (포항공과대학 화학공학과 재료공정연구실)
  • Published : 1992.02.01
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Abstract

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