TEOS의 화학증착에 의해 제조된 $SiO_2$ 담지막의 기체분리 및 반응기 특성 연구

  • 하홍용 (한국과학기술연구원 에너지.반응공정 연구실) ;
  • 남석우 (한국과학기술연구원 에너지.반응공정 연구실) ;
  • 홍성안 (한국과학기술연구원 에너지.반응공정 연구실) ;
  • 이원국 (한국과학기술원 화학공학과)
  • Published : 1992.10.01

Abstract

무기막은 고분자 계통의 유기막과는 달리 200$\circ$C 이상의 고온에서도 높은 기체 투과도와 구조적 안정성을 보인다. 따라서 무기막을 고온의 촉매 반응에 이용하면 생성물 중 일부를 선택적으로 분리시키므로써 열역학적으로 예측할 수 있는 값 이상의 높은 전환율을 얻을 수 있으며, 또한 반응물 중 일부를 막을 통해 주입하면 반응의 정도를 조절함으로써 원하는 생성물의 수율을 높일 수 있게 된다. 그러나, 현재 실험실에서 많이 연구되고 있는 다공성 유리 또는 다공성 알루미나와 같은 무기막들은 기체 투과도는 높은 반면에 기체 분리가 Knudsen diffusion에 의해 이루어지기 때문에 분리선택도가 낮은 단점이 있다.

Keywords