Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

A Development of 2.56 MeV e-Beam Accelerator for Excitation of XeF(C\rightarrow$A) Laser

XeF(C\rightarrow$A) 레이저 여기용 2.5MeV e-Beam 가속기 개발

  • 류한용 (경희대학교 전자공학과)
  • Published : 1991.06.01
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Abstract

청록색 영역에서 발진하는 XeF(C$\longrightarrow$A)엑사이머 레이저 여기용 2.56MeV 전자빔 가속기를 개발하였다. 대출력 전자빔 가속기는 $\pm$80kV로 충전하는 Marx Generator를 동축구조로 꾸밈으로서 낮은 임퍼던스와 인덕턴스를 유지할 수 있었고, 빠른 전압상승과 유사구형파 출력을 얻을 수 있었다. 본 연구에서는 대출력 전자빔가속기 (2.56 MeV, 2.2KJ)의 파라메터와 동작특성, 전압측정 등을 기술한다.

Keywords