이온빔을 이용한 최근의 광학박막 제조기술 동향

Recent trends in optical thin film fabrication techniques using ion beam

최근 레이저 기술의 발달과 광학 부품의 고급화 추세에 따라, 광학 박막의 성능을 개선하기 위해, 이온 빔을 이용한 여러 기술이 개발 중이거나 생산에 사용되고 있다. 본 논문에서는 각 기술의 방법, 구조 및 제작된 박막의 특성 등을 비교 분석한다.