Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)
- 1990.07a
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- Pages.45-58
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- 1990
Fabrication of a Spectroscopic Ellipsometer and Characterization of Optical Thin Films
Spectroscopic Ellipsometer 의 제작 및 광학 박막 분석에의 응용
Abstract
회전 편광자 영의 Spectroscople Ellipsometer를 제작하였다. 각 부품의 미소결함에 의한 오차를 추정하고 이들 각 부품의 미소결함이 Ellipsometric 상수들에 미치는 영향을 보정하여 정확도를 향상시키는 관련표현들을 유도하였다. Straight through operation에 대한 성능 평가 결과 파장 대역 400nm-600nm 내에서 tan
Keywords