Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Semi-Microseoond Long pulse KrF 레이저 시스템 개발

  • 박홍진 (경희대학교 전자공학과)
  • Published : 1990.02.01
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Abstract

코로나 예비전리를 이용한 KrF 레이저의 장펄스화를 위해 동축형 4단 펄스정형회로 (PFN)를 구성해서 용량이행형의 회로에 인덕턴스가 부가된 방식의 전류, 전압을 비교하여 PFN을 동축형으로 제작함으로 인한 Stray Capacitance (Cs)의 존재로 인해 좋은 효율의 장펄스화를 이루어짐을 밝혔다. 구성된 PFN을 절연유에 넣어 충전전압 15kV, N2 55Torr에서 330ns 펄스폭의 전류파형을 측정했다.

Keywords