• Title, Summary, Keyword: 표준물질

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XRR용 두께 표준물질 제작을 위한 박막성장 및 특성평가

  • Yu, Byeong-Yun;Bin, Seok-Min;Kim, Chang-Su;O, Byeong-Seong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • pp.141-141
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    • 2012
  • X-선 반사율 측정법(XRR)은 비파괴적인 측정방법과 수 nm의 두께를 정밀하게 측정할 수 있는 장점으로 인하여 반도체 산업현장에서 많은 관심과 연구가 이루어지고 있다. 이러한 XRR은 두께 분석 측정의 정밀도를 향상시키고 부정확한 결과를 방지하기 위하여 측정기기를 검증하고 보정할 수 있는 두께 표준물질을 필요로 하고 있다. 본 연구에서는 XRR용 두께 표준물질을 이온빔 스퍼터링 증착방법을 이용하여 제작하였다. 두께 표준물질 제작에 있어 공기 중 노출에 의해 산화가 되지 않는 산화물 박막과 산화물 기판을 선택하였다. 후보물질은 glass, sapphire, quartz, SiO2기판과 HfO2, Ta2O5, Cr2O3 산화물 타켓을 이용하여 박막을 제작하였다. 제작된 후 보물질은 교정된 XRR을 통하여 박막의 두께, 계면 및 표면 거칠기, 밀도등 박막의 구조특성분석을 하였다. Glass, quartz의 경우 기판 표면 거칠기가 좋지 않아 제작된 샘플의 X-선 반사율 곡선이 급격히 떨어지면서 측정되는 각도의 영역이 작아졌다. Sapphire로 제작한 시편은 측정된 데이터와 simulation의 curve fitting이 양호하지 않았다. 이 중 SiO2기판을 사용하고 HfO2박막을 증착한 샘플이 다른 후보물질보다 XRR curve fitting 결과가 가장 양호하여 두께 표준물질로 응용하기에 적절하였다. 그리고 AFM (Atomic Force MicroScope)을 이용하여 기판의 거칠기 및 증착한 박막표면 거칠기 측정을 하였고, TEM (Transmission Electron Microscope)으로 두께 측정을 하여 XRR로 얻은 데이터와 비교하였다. 이러한 결과를 토대로 XRR용 두께 표준물질 제작할 수 있었고, 추후 불확도 평가 및 비교실험을 통하여 제작된 XRR용 두께 표준물질을 이용할 수 있을 것으로 기대된다.

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Stability Study for B.T.X Gas in the Aluminum Cylinder (알루미늄용기에서 BTX 가스에 대한 안정성 연구)

  • 김용두;배현길;김병문;김광섭;허귀석;김진석;우진춘
    • Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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    • pp.356-357
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    • 2003
  • 대기오염을 유발하는 가스 중 휘발성 유기오염물(VOC)의 가스성분에 대한 관심은 점점 높아지고 있다. 휘발성 유기오염물(VOC)가스 중 가장 대표적인 성분은 벤젠, 톨루엔, 자일렌으로서 주 발생원은 유해한 작업환경의 대기나 공장의 배기 가스, 또는 주변 주거 지역의 대기 등이다. 본 연구는 벤젠, 톨루엔, 자일렌을 측정하는데 있어서 표준가스로 사용하는 벤젠, 톨루엔 및 자일렌 교정용 혼합가스의 인증 값의 정확성 및 신뢰성을 유지하기 위하여 이들 성분을 조성으로 하는 혼합가스를 제조하고 단기 흡착성 정도 및 유효기간 설정을 위하여 안정도 조사를 수행하였다. (중략)

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Determination of ammonia gas by Ion chromatography (이온 크로마토그래피를 이용한 암모니아 가스의 정량화에 관한 연구)

  • 이종해;민병훈;문동민;김진석
    • Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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    • pp.352-353
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    • 2000
  • 악취물질은 산업의 발전과 경제성장에 따른 생활수준의 향상으로 인하여 급격히 늘어나는 대기오염 물질 중의 하나로, 악취문제는 인간의 오감을 통해서 느끼는 감각공해의 대표적인 물질이다. 악취물질의 대표적인 성분인 암모니아는 무색의 자극성이 매우 크고 부식성이 있는 알칼리 기체로 1 ppm 정도에서 감지되어 다른 악취물질보다 감지되는 농도가 높다. 또한 그 배출원이 화학공장 등의 산업시설 뿐만 아니라 양돈, 양계장 등에서도 배출되어 우리 주위에서 쉽게 감지할 수 있는 물질이다. (중략)

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Analysis of Ammonia Gas Using Ion Chromatography (이온 크로마토그래피에 의한 기체상 암모니아의 분석법 확립)

  • Lee, Jong-Hae;Min, Byung-Hun;Jeon, Ryong;Kim, Jin-Seok;Kim, Yong-Du
    • Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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    • pp.366-367
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    • 2003
  • 암모니아 가스는 무색의 기체이지만 자극성이 크면서 부식성이 있고 수용액이 알칼리성인 대표적인 악취물질이다. 보통의 경우는 굴뚝 등에서 배출가스의 형태로 대량 방출되기도 하지만 자연상태에서도 여러 가지 생물학적 또는 화학적 반응 등을 통하여 생성되므로, 일상적인 생활 공간에서도 쉽게 검출될 수 있는 물질이다. 대기 중 암모니아의 농도는 기체상 시료를 직접 분석하는 가스 크로마토그래피와 시료를 액체상으로 변환시킨 후 암모늄 양이온의 농도를 분광광도법이나 중화적정법으로 측정한다. (중략)

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