• Title, Summary, Keyword: 장비제어기

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반도체 장비용 공정제어기의 구조 및 기능

  • Yoo, Jun;Kim, Jae-Hyung;Song, Tae-Seung;Jang, Jong-Tae;Jung, Gi-Ro
    • ICROS
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    • v.3 no.2
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    • pp.6-12
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    • 1997
  • 현재 국내에서 반도체 장비용 공정제어기의 개발에 관심이 고조되고 있는 시점에서, 본 고에서는 반도체 장비용 공정제어기가 갖추어야 될 구조와 기능을 상용 제품의 기술검토를 통하여 정리해 보고 저자연구실에서 수행되고 있는 연구사례를 소개한다.

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Deposition Process Load Balancing Analysis through Improved Sequence Control using the Internet of Things (사물인터넷을 이용한 증착 공정의 개선된 순서제어의 부하 균등의 해석)

  • Jo, Sung-Euy;Kim, Jeong-Ho;Yang, Jung-Mo
    • Journal of Digital Convergence
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    • v.15 no.12
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    • pp.323-331
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    • 2017
  • In this paper, four types of deposition control processes such as temperature, pressure, input/output(I/O), and gas were replaced by the Internet of Things(IoT) to analyze the data load and sequence procedure before and after the application of it. Through this analysis, we designed the load balancing in the sensing area of the deposition process by creating the sequence diagram of the deposition process. In order to do this, we were modeling of the sensor I/O according to the arrival process and derived the result of measuring the load of CPU and memory. As a result, it was confirmed that the reliability on the deposition processes were improved through performing some functions of the equipment controllers by the IoT. As confirmed through this paper, by applying the IoT to the deposition process, it is expected that the stability of the equipment will be improved by minimizing the load on the equipment controller even when the equipment is expanded.

SDN 개발 사례 : 고성능 SDN 제어기 MuL

  • Heo, Chan;Park, Seong-Yong
    • Information and Communications Magazine
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    • v.30 no.3
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    • pp.29-35
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    • 2013
  • 네트워크 장비의 제어평면과 전송평면을 분리하고 전체 네트워크의 제어평면을 하나의 중앙 제어기에 통합하는 네트워크 아키텍처인 소프트웨어 정의 네트워킹 (Software Defined Networking)는 네트워크 산업과 학계에서 많은 관심을 받고 있다. 개별적으로 동작하는 기존 네트워크 장비와 달리 모든 제어평면의 기능이 하나의 중앙 제어기에 집중되기 때문에 제어기의 성능, 안정성, 유연성은 해당 제어기가 통제하는 네트워크 전체에 지대한 영향을 미치게 된다. 또 SDN의 제어계층과 전달계층 사이에 표준통신 인터페이스로 확고한 자리를 잡은 OpenFlow는 세계 유수의 글로벌ICT들이 참여하여 SDN열풍의 중심에 위치해있다. 본고 에서는 SDN의 개념에 대해 살펴보고, OpenFlow의 소개와 동작을 설명할 것이다. 또한 국내에서 최초로 개발된 새로운 OpenFlow 제어기인 MuL 제어기 플랫폼을 소개하고 다른 제어기들과의 비교분석을 통해 어떤 차별점을 갖는지 알아보고자 한다.

A Study on the ICS Algorithm by Multi-processing (멀티-프로쎄싱에 의한 ICS 알고리즘의 연구)

  • 조학현;송면규;최조천;김기문
    • Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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    • pp.389-393
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    • 1998
  • SSB, VHF 등의 장비에 의한 무선통신은 아직도 중요한 정보전달의 수단으로 사용되고 있으며, 무선국으로부터 원거리에 설치되는 장비에 대해서는 전용회선을 사용하여 원격제어로 송ㆍ수신을 행하고 있다. 그러나 무선국에서 다수의 사용자가 다수의 장비에 임으로 접속하고 운용을 해야하는 환경에서는 ICS(Intergrated Communication System:통합통신시스템)의 회선접속 제어기가 요구된다. 본 논문에서는 ICS의 개발을 위하여 ASK(Amplitude Shift Keying) 변조방식에 의한 PTT(Press To Talk) 제어와 신호의 전송회로를 구성하여 실험하였고, 멀티-프로쎄싱에 의한 회선접속 제어기를 설계하여 통합 통신운용에 대한 알고리즘을 연구하였다. Keying에 의하여 m 신호를 단속하였고 지속되는 PTT 신호에 음성신호를 합성시켜 전송시키는 형태의 ASK 변조방식을 취하여 전송되도록 하였고, 회선접속 제어기는 master와 다수의 slave 프로쎄서를 멀티-프로쎄싱의 직렬데이터 전송방식으로 프로쎄서 상호간에 데이타가 전달되도록 구성하였다. 이에 따른 S/W 는 멀티-프로쎄싱의 인터럽트기법을 최대한 활용하여 원하는 회선에 정확히 접속되어 통신이 이루어지도록 설계하였다. 따라서 이 연구는 주파수 자원의 고갈과 통신량의 증가에 대한 대책의 일환으로 저비용의 시설로 재래식 장비의 운용 효율을 증대시키는 기술의 개발에 목적이 있다.

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Design and Implementation of Remote Control System for Measuring Instrument using Smart Network Card (스마트 네트워크 카드를 이용한 계측기 원격 제어 시스템 설계 및 구현)

  • Park, Jin-Ho;Jung, Min-Soo
    • Journal of Korea Multimedia Society
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    • v.11 no.10
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    • pp.1366-1375
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    • 2008
  • To verify correct operation of measuring instruments, we request the verification of measuring instrument to the agency that holds inspection devices. This works requires time and cost to the company. For this reason. We proposed "Smart Network Interface Card Model" for remote control of measuring instruments. Our model based on Web adapter, can add, delete and change the program to an existing web adapter from remote system. Furthermore, more than one program can be loaded, and can be updated from the remote system of internet. And also we can change the verification requirement of measuring instrument, hence it makes more good quality and competitive power of instruments.

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Remote Controller Design Using Telephone (전화기를 이용한 원격제어기 설계)

  • Lim, Seog-Ku
    • Proceedings of the KAIS Fall Conference
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    • pp.446-448
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    • 2006
  • 근래에 이르러 시설농가, 농수산물 건조기, 저온 저장고, 양어장, 보일러, 심야전기기계장치 등의 사용이 증가하였지만 이를 관리하기 위한 인력은 항시 관련 장비의 근거리에 위치하였다. 그러나 관련 장비를 관리하기 위한 인력이 원거리에 있는 경우 장비의 이상 유무를 수시로 확인 할 수 없어서 장비의 고장이 발생하여도 적절한 조치를 취하지 못하여 커다란 손실을 입는다. 이러한 관점에서 장비에 이상이 발생하였을 때 이를 감지하여 원거리에 있는 관리자의 전화기에 자동 연결하여 녹음된 음성 메시지를 신속히 알려 적절히 대처할 수 있는 제어기 개발에 대한 연구를 수행하였다. 본 논문에서는 농업용 온실 및 기계장치에서 이상 발생 시 휴대전화를 이용하여 사용자에게 음성으로 자동 통보하는 시스템을 개발하여 시스템은 미리 지정된 전화번호로 통보를 하여 사용자가 정상적으로 인지하였는가를 인식할 수 있는 기능을 갖고 있다. 또한 미리 저장된 여러 개의 전화번호를 시스템에서 직접 Dialing 해주는 기능을 갖고 있으며, 음성합성 기능을 적용하여 온도와 이상 상태들을 음성으로 통보해 주는 기능도 갖고 있다. 또한 사용자가 원격지에서 전화를 이용하여 원격제어를 할 수 있는 기능도 갖추고 있으며, 이를 확인할 수 있는 기능을 갖는 시스템을 개발하였다.

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Study on Device Monitoring using SNMP (SNMP를 이용한 장비 모니터링에 관한 연구)

  • Park, Mi Jeong;Lee, Dong Hoon;Lee, Jeong Han
    • Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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    • pp.561-564
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    • 2014
  • The Rare Isotope Science Project (RISP) at the Institute for Basic Science (IBS) constructs the rare isotope accelerator facility in South Korea. Since the accelerator control system uses various Ethernet-based devices and equipment, it is essential to build a unified Network-based control system. Because of the complexity of the accelerator facility, it will be a challenge to install a device in a proper location where the device could react quickly and exactly with respect to network security. In this report, we will present early study on Simple Network Management Protocol (SNMP) that tests various Ethernet-based devices out on an ideal network configuration in order to find an optimal location for each Ethernet-based device. Moreover, we will discuss future plan to integrate SNMP into Experimental Physics and Industrial Control System (EPICS) that is distributed soft real-time control systems for scientific instruments such as a particle accelerators, telescopes and other large scientific experiments.

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플라즈마 식각공정의 종말점 검출(End Point Detection) 제어

  • 우광방
    • ICROS
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    • v.4 no.4
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    • pp.41-44
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    • 1998
  • 이 글에서는 플라즈마 식각공정의 진행에 있어서 중요한 EPD제어기법과 파라미터 최적화에 대해 서술하였다. 또한 플라즈마 응용 식각장비의 발전경향과 다중체널 제어기의 개발에 대해서도 알아보았다. 현재의 연구는 기존의 장비를 이용하여 회로를 보다 미세화하고자 하는 연구와 새로운 장비의 개발을 통한 고집적화로 구분할 수 있다. 또한 제품의 가격 경쟁력을 위해서 웨이퍼의 대구경화가 일반적인 추세이다. 웨이퍼의 대구경화는 불균일도의 극복을 위해 새로운 제어와 보다 향상된 EPD기법을 필요로 한다. 따라서 기존의 제어기법을 향상시키려는 노력과 새로운 검출기법에 대한 연구도 지속적으로 진행되고 있다.

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고속 열처리 공정기(RTP)의 개요와 연구 동향

  • 도현민;최진영
    • ICROS
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    • v.4 no.4
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    • pp.25-30
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    • 1998
  • 본 고에서는 반도체 생산 장비의 하나인 고속 열처리 공정기를 소개하고, 현재의 기술 동향과 그에 따른 기술발전의 추이를 논의 하였다. 고속 열처리 공정기는 단일 웨이퍼 가공기로서 각각의 웨이퍼가 동일한 환경하에서 가공될 수 있다는 장점 때문에 앞으로 웨이퍼가 대형화되고 다품종 소량생산이 요구되면서 더욱더 주목받게 되고 또한 반도체 생산에 있어서 핵심이 될 장비이다. 따라서 현재 고속 열처리 공정기를 실제 현장에서 널리 사용하지 못하고 있는 큰 이유 중의 하나인 웨이퍼의 온도 균일성 문제를 해결하는 것이 현 시점에서 매우 중요하다. 그리고 여러 챔버를 연결하여 다양한 작업을 일괄적으로 처리할 수 있는 다 챔버 과정으로의 발전도 필요하다고 할 수 있다. 반도체 생산장비의 대다수를 수입에 의존하고 있는 국내 현실을 고려할 때 반도체 생산기술의 국산화는 매우 중요하다. 따라서 차세대 반도체 생산장비로 주목받고 있는 고속 열처리 공정기의 생산기술을 국산화하는 것은 그 의미가 크다고 할 수 있다. 이를 위하여 산업계와 학계의 지속적인 관심과 좋은 연구결과를 기대한다.

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Application of SIMC Based Quad-rotor Cascade Control by Using 1-axis Attitude Control Test-bench (1축 자세제어실험 장비를 이용한 SIMC 기반 쿼드로터 Cascade 제어기 적용에 관한 연구)

  • Choi, Yun-sung;You, Young-jin;Jeong, Jin-seok;Kang, Beom-soo
    • The Journal of Advanced Navigation Technology
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    • v.19 no.6
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    • pp.473-483
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    • 2015
  • This paper reports the single-input-single-output cascade control by using 1-axis attitude control test-bench for quad-rotor UAV. The test-bench was designed as a see-saw shape using 2 motors and propellers, and to enable changing the center of gravity with the center of gyration using ballast. The experiment was carried out by constructing a PID-PID controller having a cascade structure with the test-bench. The SIMC based PID gain tuning process, which makes PID gain tuning easy, was grafted to cascade control. To graft SIMC method, the system parameter estimation result was conducted with second order time delay model by using Matlab-Simulink. Gain tuning was conducted by simulating with estimated system parameter. In this paper, the conventional application of SIMC was conducted and improved application was proposed for improving stability at tuning process.