태양전지용 다결정실리콘 웨이퍼의 표면 처리용 텍스쳐링제

Texturing Multi-crystalline Silicon for Solar Cell

  • 임대우 (호서대학교 화학공학과) ;
  • 이창준 (호서대학교 화학공학과) ;
  • 서상혁 (호서대학교 글로벌창업대학원)
  • Ihm, DaeWoo (Department of Chemical Engineering, Hoseo University) ;
  • Lee, Chang Joon (Department of Chemical Engineering, Hoseo University) ;
  • Suh, SangHyuk (Graduate School of Global Entrepreneurship, Hoseo University)
  • 발행 : 2013.02.10

초록

텍스쳐링에 의해 실리콘 웨이퍼의 표면반사율을 감소시키는 것은 실리콘 태양전지의 효율향상을 위해 매우 중요한 공정이다. 본 연구에서는 에칭속도 제어를 위해 촉매제를 포함한 산 용액으로 텍스쳐링 처리한 웨이퍼의 표면효과와 그 태양전지 특성을 평가 고찰하였다. 텍스쳐링 전 $HNO_3-H_2O_2-H_2O$ 용액의 전처리는 표면반사율의 초기 저감효과를 가져왔다. 이는 산화특성에 의해 유기 불순물이 제거되고 텍스쳐링을 위한 핵의 생성에 기인한다고 할 수 있다. 이후 공정에서 불산/질산 용액에 인산 및 초산과 같은 완충제를 첨가한 혼합용액을 제조하고, 적정 농도 조합과 그 처리시간의 최적화를 통해 개선된 텍스쳐링 효과를 얻을 수 있었으며 이 효과는 표면반사율 감소를 통해 확인할 수 있었다. 이렇게 제조된 실리콘 웨이퍼에 반사방지막 코팅 후 태양전지를 제작하여 그 변환효율을 측정한 결과 16.4%의 양호한 특성을 나타냈다. 이는 개선된 텍스쳐링 처리에 의해 저감된 표면특성에 의한 단락전류의 증가에 기인한 것으로 추정된다.

키워드

texturing;multi-crystalline silicon;acid;catalytic agent;solar cell

참고문헌

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