대면적 OLED증착용 서큘러소스의 성능개선

Performance Improvement of Circular Source for Large Size OLED vapor deposition

  • 엄태준 (순천향대학교 기계공학과) ;
  • 주영철 (순천향대학교 기계공학과) ;
  • 김국원 (순천향대학교 기계공학과) ;
  • 이상욱 (순천향대학교 기계공학과)
  • 발행 : 2006.10.31

초록

유기발광다이오드(OLED)증착을 위한 서큘러소스의 열전달 해석을 통하여 온도분포를 연구하였다. 대면적의 OLED용 평판의 유기물증착을 위해 서큘러소스가 사용되는데, 소스내의 유기물이 가열되고, 승화되어 증착된다. 유기물의 수율을 높이기 위해 히터설계를 개선하고, 이에 대한 열전달해석을 수행하였다. 그리고, 효율을 높이기 위한 새로운 제조공정인 OVPD공정의 개념과 유도 및 열전달특성에 관한 기본적인 연구결과를 제시하였다.

키워드

증착;서큘러소스;온도분포해석