Specification of a software architecture and protocols for automated VLSI manufacturing system operation

자동화된 VLSI 생산 시스템 운용을 위한 소프트웨어 구조 및 프로토콜 설계

  • Published : 1997.02.01


본 연구에서는 자동화된 VLSI 제조 시스템 환경에서의 로트 조정기 및 범용 셀 제어기의 구축에 필요한 새로운 소프트웨어 구조 및 프로토콜을 제시하였다. 반도체 제조 시스템의 운용 제어 활동은 로트 조정기와 범용 셀 제어기가 상호 협조적으로 통신하는 클라이언트/서버 구조로 모형화 되었으며, 로트 조정기는 하나 이상의 작업을 수행할 수 있는 범용 셀 제어기에 작업을 의뢰하는 클라이언트로서 작동된다. 반도체 제조 시스템의 운용 소프트웨어와 관련된 기존의 연구들이 개념적인 구조와 전략 만을 다루었던 것과는 달리, 본 연구에서는 생산 설비 뿐만 아니라 물류운반 장치의 제어를 위하여 상세한 수준에서의 설계가 제시되었다. 본 연구의 특징으로는 설비 구성, 로트 형태, 일정 계획 규칙 등의 변경에 대한 동적 재구성 가능성을 들 수 있다. 또한 제안된 설계는 상용화된 프로세스 통신 기능을 사용하여 구현이 용이하다.


  1. ACM Computing Surveys v.23 Paradigms for process interactions in distributed programs G. R. Adnrews
  2. Proceedings of the IEEE International Conference on Robotics and Automation Specification and automated implementation of coordination protocols in distributed controls for flexible manufacturing cells S. Aggarwal;S. Mitra;S. S. Jagdale
  3. IEEE/SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium Software engineering for semiconductor manufacturing equipment suppliers C. R. Baudoin;J. P. Kantor
  4. AT&T Technical Journal v.65 no.4 Performance analysis techniques for IC manufacturing lines D. Y. Burman(et al.)
  5. IEEE Transactions on Semiconductor Manfuacturing v.8 no.1 Simulation tool for design and management optimization of automated interbay material handling and storage systems for large wafer fab G. Cardarelli;P. M. Pelagagge
  6. Operations Research v.36 no.2 Empirical evaluation of a queueing network model for semiconductor wafer fabrication H. Chen(et al.)
  7. IEEE Journal of Robotics and Automation v.3 Interprocess communication for distributed robotics D. Gauthier;P. Freedman;G. Carayannis;A. S. Malowany
  8. IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing v.1 no.1 Closed-loop job release control for VLSI circuit manfuacturing C. R. Glassey and M. G. C. Resende
  9. Journal fo Manufacturing Systems v.12 no.6 Practical issues in scheduling and dispatching in semiconductor wafer fabrication P. K. Johri
  10. IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing v.5 no.2 A generic cell controller for the automated VLSI manufacturing facility J. R. Moyne;L. C. McAfee
  11. IEEE/SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium A state of the art automation system of an ASIC wafer fab in Japan A. Matsuyama;J. Niou
  12. IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing v.7 no.2 The MMST computer-integratedmanufacturing system framework J. McGehee;J. Hebley;J. Mahaffey
  13. IEEE Transactions on Systems, Man, and Cybernetics v.17 Design of integrated manufacturing control software A. W. Naylor;R. A. Volz
  14. IEEE/SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium The development and implementation of a cell controller framework K. Nguyen
  15. Proceedings of the IEEE Internaitonal Conference on Robotics and Automation An architecture and a negotiation protocol for the dynamic scheduling of manufacturing systems C. Ramos
  16. Journal of Manufacturing Systems v.7 Dynamic scheduling in cellular manufacturing systems : A framework for networked decision making M. J. Shaw
  17. Development of Distributed Software : Concepts and Tools S. M. Shatz
  18. Working Paper, Department of Industrial Engineering, Texas A&M University Message-based part state graphs (MPSG) : A formal model for shop floor control J. S. Smith;S. B. Joshi
  19. Ph.D. thesis, The Pennsylvania State University An expert system approach for the control and scheduling of flexible manufacturing cells S. D. Wu