Control performance of the vibration isolation table using piezo actuator-based hybrid mount system

압전 가력기 기반 복합형 마운트 시스템이 설치된 방진 테이블의 성능 검증

  • 문영종 (삼성물산 건설부문 기술연구소) ;
  • 장동두 (KAIST 건설 및 환경공학과) ;
  • 신윤호 (한국기계연구원 시스템다이나믹스연구실) ;
  • 문석준 (한국기계연구원 시스템다이나믹스연구실) ;
  • 정형조 (KAIST 건설 및 환경공학과)
  • Published : 2010.10.27

Abstract

Keywords

Acknowledgement

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