The effects of capacitor termination at an internal ICP antenna on the electric characteristic of coil, plasma parameters and sputtering of coil shielding

Capacitor termination이 내부 antenna ICP system에서 coil의 전기적 특성, plasma 변수, coil 절연 물질의 sputtering에 미치는 영향

  • Published : 2005.11.04

Abstract

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